选择真空材料要耐腐蚀性和耐化学性

作者:admin    来源:本站    发布时间:2020-12-14 06:08:00    浏览量374
示例:很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。因此,有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封件。尤其是薄壁部件,如金属波纹管,容易受到腐蚀。如有必要,应该在测试中确定其使用寿命。对于特殊的应用,可能可能还会对材料有更多要求。一般的规则是:所需工作压力越低,对材料的要求越高,可使用的材料选择性越小。因此,特别在UHV(超高真空)技术中,材料的选择非常重要。

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